○ 產品介紹：

TN-PSP180G-1TA 本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，體積小巧造型美觀，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

○ 主要功能：

1、精細、超精細離子濺射導電膜制備；專業級金屬膜層試驗。

2、樣品等離子刻蝕清洗

○ 主要參數：

樣品臺	尺寸	100mm
	到靶面距離	20-35mm 可調
等離子濺射靶	數量	2英寸*1
	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180*210mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材料	304不銹鋼
	抽氣接口	KF16
	進氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數量	直流電源*1
	輸出功率	*大150W
	濺射電壓	1200V
	*大濺射電流	50mA
真空系統	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s(4m3/h)
	極限真空度	≥0.1Pa
	真空測量	電阻真空規
其他	供電電源	AC220V 50Hz
	整機功率	1.5kW
	整機尺寸	500mm*320*470mm
	整機重量	30kg

○ 免責聲明 

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