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產品名稱：1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統
產品型號：TN-O1200-50IT-3F-LV
產品廠商：泰諾
產品文檔：

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簡單介紹：

1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握。

詳情介紹：

TN-O1200-50IT-3F-LV 1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制爐管內的氣氛環境。同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。

應用范圍：高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

名稱 1200℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統

型號 TN-O1200-50IT-3F-LV

參數

1、供電電源：AC:220V 50/60Hz

2、爐管材質：高純石英; 尺寸：直徑50mm（可選配60mm、80mm、100mm）、長度800mm（爐膛長度：440mm）

3、加熱區:長400mm;  恒溫區:長200mm

4、工作溫度:0～1100℃; 控溫精度:±1℃;

5、控溫模式:30段或50段程序控溫

6、顯示模式:LCD

7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

8、可抽真空：4.4E-3Pa

9、供氣系統：TN-3F 3通道氣體通道
測量部件：氣體浮子流量計
測量量程：A通道：0～100ml/min H2氣
B通道：16～160ml/min N2氣
C通道：25～250ml/min Ar氣
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需特別注明。根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
測量精度：±1.0%F.S
管道耐壓：3MPa
工作壓差：50～300KPa
連接管道：304不銹鋼
控制閥門：304不銹鋼針閥
接口規格：進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
供電電源：AC:220V 50/60Hz

10、排氣系統：產品型號TN-GZK103-A
旋片泵
抽氣速率：旋片泵：1.1L/S
排氣抽氣接口:KF16
   真空測量復合真空計：電阻規
極限真空:1.0E-1Pa
   供電電源：AC220V 50/60Hz